ASTM F1621-1996 测定表面扫描检验系统(SSIS)的定位精度能力的标准规程

作者:标准资料网 时间:2024-05-17 13:13:19  浏览:9752   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardPracticeforDeterminingthePositionalAccuracyCapabilitiesofaScanningSurfaceInspectionSystem
【原文标准名称】:测定表面扫描检验系统(SSIS)的定位精度能力的标准规程
【标准号】:ASTMF1621-1996
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1996
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:扫描;表面检验;半导体材料
【英文主题词】:Localizedlightscattering;Particleanalysis;Particlecounting;Positionalaccuracy;Scanningsurfaceinspectionsystem(SSIS);SSIS(scanningsurfaceinspectionsystem);positionalaccuracycapabilities-scanningsurfaceinspectionsystem;(S
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thispracticecoversthedeterminationoftheaccuracywithwhichascanningsurfaceinspectionsystem(SSIS)reportsthepositionsoflocalizedlightscatterersonasiliconwafer
【中国标准分类号】:N47
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:8P.;A4
【正文语种】: